Wie erkennt man staubfreies Tuch? Wenn wir ein sauberes Tuch kaufen und herstellen, werden wir eine Reihe von Tests bezüglich der Qualität des sauberen Tuchs und der offensichtlichen Wirkung des Gebrauchs durchführen, aber wir kennen möglicherweise nicht die Erkennungsmethode des sauberen Tuchs, also teilen wir es mit jeder. Um einen Überblick über einige Methoden der staubfreien Tucherkennung zu erhalten:
Der Benutzer bewertet das saubere Tuch hauptsächlich anhand des Materials, der Absorptionsrate, der Sauberkeit und der Kosten des Wischtuchs. Im Reinraum der Halbleiterindustrie bestehen hohe Anforderungen an staubfreie Tücher, Ionen, ESD und dergleichen. IEST-RP-CC004.3 bietet einige Methoden zur Bewertung staubfreier Wischtücher.
Ein staubfreies Tuch muss strengstens getestet werden, um die Leistungsanforderungen und die Umweltschutzstandards zu erfüllen. Im Allgemeinen muss staubfreies Tuch wie folgt getestet werden:
Staubfreie Abriebfestigkeitsprüfung
Im Allgemeinen ist der Abriebbeständigkeitstest ein Test der physikalischen Eigenschaften des Stoffes. Da jedoch bei der Prüfung des staubfreien Tuchs der Abrasionsprozess Staubpartikel erzeugt, ist es angemessener, den Abriebfestigkeitstest des staubfreien Tuchs in den Verschmutzungskontrollbereich einzuordnen.
* Teststandard: Je stärker die Abriebfestigkeit, desto weniger Staubpartikel entstehen.
Staubfreie Flächengewichtsprüfung
Testen Sie das Gewicht pro Flächeneinheit sauberes Tuch gemäß ASTM-D-3776 * Referenzteststandard: Allgemeine Anforderungen sind 150-300 g / m2
Staubfreie Absaugung und Aspirationstest
Gemäß den Anforderungen von Abschnitt 8 von IEST-RP-CC004.3 sollte die Absorptions- und Absorptionsrate des sauberen Tuchs geprüft werden. Die Menge der Flüssigkeitsabsorption gibt die Anzahl der Milliliter Flüssigkeit an, die von dem sauberen Tuch pro Flächeneinheit absorbiert wird. Die Absorptionsrate bezieht sich auf die Zeit, die benötigt wird, damit das saubere Tuch 10 ml Flüssigkeit absorbiert. Beide Messungen müssen dreimal gemessen und der Durchschnittswert berechnet werden. * Referenzteststandard: Die Flüssigkeitsabsorption beträgt im Allgemeinen nicht weniger als 400 g / m2.
Die Sauggeschwindigkeit des staubfreien Tuches beträgt in der Regel nicht mehr als 1 Sekunde.
IC Test Quantitativ und quantitativ den Gehalt an anorganischem Anion und Kation gemäß den Anforderungen von Abschnitt 7.2 von IEST-RP-CC004.3 messen.
* Der Referenzteststandard in der Kopfindustrie erfordert im Allgemeinen CL-≤0,03ug / cm2; SO42-≤ 0,03 ug / cm²; NO3-≤0.03ugcm2; Gesamt: <1,0ug>
NVR-Test Der nichtflüchtige Rückstand pro Flächeneinheit wird gemäß Abschnitt 7.1 von IEST-RP-CC004.3 getestet. Beim NVR-Test wird das staubfreie Tuch für eine bestimmte Zeit in eine bestimmte Menge Lösungsmittel eingetaucht, und dann wird das staubfreie Tuch herausgenommen, um die Qualität des in dem Lösungsmittel gelösten nichtflüchtigen Rückstands zu testen.
* Referenzteststandard: In der Kopfindustrie ist die allgemeine Anforderung <3,0ug>
LPC-Test Der LPC-Test wird an dem sauberen Tuch gemäß den Anforderungen von Abschnitt 6.2.1 von IEST-RP-CC004.3 durchgeführt. LPC kann die Anzahl der flüssigen Staubpartikel auf einem sauberen Tuch prüfen.
Der LPC-Test besteht darin, das staubfreie Tuch mit einer bestimmten Menge an DI-Wasser zu durchtränken und mit Ultraschall zu schwingen, um die Staubpartikelkonzentration in dem DI-Wasser zu messen.
* Referenztest Standard: in der Kopfindustrie, erfordert in der Regel <30counts>
Staubfreier FTIR-Test Fourier-Transformations-Infrarotspektroskopie-Test
* Referenzteststandards: Silikonöl, Aminoverbindungen, Weichmacher sind in der Regel nicht erlaubt.
Reinigen Sie den GC-Test
Der GC-Test ist eine Methode zur Analyse von Art und Menge organischer Verunreinigungen auf einem sauberen Tuch.
* Referenzteststandard: In der Kopfindustrie, Gesamt: <>
